微電火花加工工藝的發(fā)展，是將電火花腐蝕工藝方法集成在一臺(tái)機(jī)床上完成，這樣一來，這種“集成式，或者多功能”微電火花腐蝕加工機(jī)床就集合了許多電火花腐蝕加工的優(yōu)點(diǎn)：減少了工件的裝夾轉(zhuǎn)換次數(shù)和時(shí)間，減少了電極的裝夾更換次數(shù)與時(shí)間。這不僅僅是減少了機(jī)床操作者的設(shè)備調(diào)整時(shí)間，尤其是避免了反復(fù)裝夾微型工件時(shí)的安裝誤差。這種微加工工藝技術(shù)集成的另一大優(yōu)點(diǎn)是：在多種微加工生產(chǎn)過程中絕緣條件、電機(jī)、振蕩器工作參數(shù)的選擇幾乎保持不變。例如，研究試驗(yàn)的結(jié)果告訴我們：消電離的冷卻液在導(dǎo)電能力為1μS/cm的條件下有很低的粘度。與油類相比，在很小的放電間隙中消電離的冷卻液的電擊穿能力要小的多。另外，由于放電持續(xù)時(shí)間很小，陰極電極的磨損也很小。
微電腐蝕加工工藝方法集成在一臺(tái)機(jī)床上的實(shí)例：電火花腐蝕孔加工與電腐蝕線切割加工回轉(zhuǎn)體工件。在加工小直徑的孔時(shí)，例如加工直徑100μm以下的孔時(shí)，是不能使用“桿式電極”的，而是采用特殊形狀的電極，將一個(gè)硬質(zhì)合金制造的圓柱形電極加工成特殊形狀電極則必須使用電腐蝕中的線切割工藝（WEDD）。在這一特殊形狀電極的加工過程中，圓柱形電極成為了被電火花腐蝕加工的“工件”。這樣一來，就需要在微電火花腐蝕加工機(jī)床中，附帶的加上一套線切割腐蝕加工系統(tǒng)。這種機(jī)床配置方案減少了一次工件裝夾過程，可以達(dá)到很高的定位精度。這種集成方案既可以加工出有回轉(zhuǎn)對(duì)稱軸的，也可以生產(chǎn)出四邊形的電極，既可以生產(chǎn)微電腐蝕加工的“刀具”，也可以生產(chǎn)微電腐蝕加工的工件，例如加工微銑削加工的特種銑刀等等。
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