在數(shù)控電火花線切割機加工過程中，線切割鉬絲和工件加工表面之間位置關系合理時，加工表面精度就能達到加工要求，否則就不能達到加工要求，加工精度分析就是分析和研究加工精度不能滿足要求時各種因素，即各種原始誤差產(chǎn)生的可能性，并采取有效的工藝措施進行克服，從而提高加工精度。
在電火花線切割機床加工中，機床、夾具、工件和鉬絲構成一個完整的系統(tǒng)，稱為工藝系統(tǒng)。由于工藝系統(tǒng)本身的結構和狀態(tài)、操作過程以及加工過程中的物理力學現(xiàn)象而產(chǎn)生刀具和工件之間的相對位置關系發(fā)生偏移的各種因素稱為原始誤差。它可以照樣、放大或縮小地反映給工件，使工件產(chǎn)生加工誤差而影響零件加工精度。一部分原始誤差與切削過程有關；一部分原始誤差與工藝系統(tǒng)本身的初始狀態(tài)有關。這兩部分誤差又受環(huán)境條件、操作者技術水平等因素的影響。
1.與工藝系統(tǒng)本身初始狀態(tài)有關的原始誤差
①原理誤差 即加工方法原理上存在的誤差。
②工藝系統(tǒng)幾何誤差
（1）工件與刀具的相對位置在靜態(tài)下已存在的誤差，如刀具和夾具制造誤差，調整誤差以及安裝誤差；
（2）工件和刀具的相對位置在運動狀態(tài)下存在的誤差，如機床的主軸回轉運動誤差，導軌的導向誤差，傳動鏈的傳動誤差等。
2.與切削過程有關的原始誤差
①工藝系統(tǒng)力效應引起的變形，如工藝系統(tǒng)受力變形、工件內(nèi)應力的產(chǎn)生和消失而引起的變形等造成的誤差。
②工藝系統(tǒng)熱效應引起的變形，如機床、刀具、工件的熱變形等造成的誤差。