在印模制作過程中,對(duì)一些細(xì)小的峰谷不可避免地有固化現(xiàn)象;另外哈默納科中空齒輪CSF-17-80-2UH-LW ,由于印模固化中其材料的收縮變形等影響,根據(jù)印模測(cè)得的粗糙度數(shù)值往往比原件小。為了減小這一誤差,要對(duì)測(cè)得數(shù)值乘以適當(dāng)?shù)男拚禂?shù)。
非接觸式光針針描法是將光束聚焦哈默納科中空齒輪CSF-17-80-2UH-LW于被測(cè)表面形成光針。在被測(cè)表面與光針作相對(duì)移動(dòng)時(shí),被測(cè)表面微觀峰谷將引起光針出現(xiàn)散焦。聚焦反饋機(jī)構(gòu)根據(jù)被測(cè)面反射回的散焦信號(hào)調(diào)整自身位置,使光針焦點(diǎn)始終位于被測(cè)輪廓表面,反饋機(jī)構(gòu)位移由測(cè)量杠桿放大后經(jīng)適當(dāng)?shù)男盘?hào)處理,便可得到放大了的被測(cè)表面輪廓。哈默納科中空齒輪CSF-17-80-2UH-LW光針針描法的主要特點(diǎn)是不會(huì)造成被測(cè)表面劃傷