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由于O、OH基等具有強氧化能力，結果使H分解氧化、終生成CO2和H2O，即VOCs通過放電處理終變?yōu)闊o害物質。研究表明，非平衡態(tài)等離子中，只有電子的溫度是很高的，整個等離子氣體區(qū)域溫度只比未反應時升高1℃，因此該法具有很高的能量效率，是處理低濃度、高流速、大流量的VOCs較為理想的方法。當前，等離子法處理VOCs的技術尚處研究階段。3紫外線氧化紫外線(UV)氧化法，也稱間接等離子體法。