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HRP?-260的雙平臺功能可以進(jìn)行納米和微米表面形貌的測量。?P-260配置提供長掃描（ 長200mm）的功能，無需圖像拼接，HRP?-260提供高分辨率掃描平臺，掃描長度可達(dá)90μm。 P-260結(jié)合了UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描的功能，實(shí)現(xiàn)了 測量穩(wěn)定性。?HRP?-260采用高分辨率壓電掃描平臺提 ?通過采用點(diǎn)擊式平臺控制、低倍和高倍率光學(xué)系統(tǒng)以及高分辨率數(shù)碼相機(jī)，其程序設(shè)置快速簡便。?HRP?-260支持二維和三維測量，具有各種濾鏡、調(diào)平和數(shù)據(jù)分析算法，以量化表面形貌。?并且通過自動晶圓裝卸、圖案識別 和特征檢測以實(shí)現(xiàn)全自動測量。

主要功能

·????????臺階高：納米至327μm

·????????恒力控制的低觸力：0.03至50mg

·????????樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

·????????視頻：在線低倍和高倍放大光學(xué)系統(tǒng)

·????????圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差

·????????軟件：簡單易用的軟件界面

·????????生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS / GEM實(shí)現(xiàn)全自動化

·????????晶圓機(jī)械傳送臂：自動加載75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如藍(lán)寶石）樣品

·????????HRP：高分辨率掃描平臺，分辨率類似于AFM

主要應(yīng)用

·????????臺階高度：2D和3D臺階高度

·????????紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

·????????外形：2D和3D翹曲和形狀

·????????應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

·????????缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

·????????半導(dǎo)體

·????????復(fù)合半導(dǎo)體

·????????LED：發(fā)光二極管

·????????MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

·????????數(shù)據(jù)存儲

·????????汽車

·????????還有更多：請與我們聯(lián)系以滿足您的要求