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該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái)，因而具備 測量穩(wěn)定性。通過點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測量。并通過圖案識(shí)別 和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。

主要功能

·????????臺(tái)階高度：幾納米至1000μm

·????????微力恒力控制：0.03至50mg

·????????樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

·????????視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)

·????????圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

·????????軟件：簡單易用的軟件界面

·????????生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化

·????????晶圓機(jī)械傳送臂：自動(dòng)加載75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如藍(lán)寶石）樣品

主要應(yīng)用

·????????臺(tái)階高度：2D和3D臺(tái)階高度

·????????紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

·????????形狀：2D和3D翹曲和形狀

·????????應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

·????????缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

·????????半導(dǎo)體

·????????化合物半導(dǎo)體

·????????LED：發(fā)光二極管

·????????MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

·????????數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

·????????汽車

·????????還有更多：請與我們聯(lián)系以滿足您的要求

P-170 探針式輪廓儀信息由北京億誠恒達(dá)科技有限公司為您提供，如您想了解更多關(guān)于P-170 探針式輪廓儀、型號(hào)、參數(shù)等信息，歡迎來電或留言咨詢。