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激光干涉儀參數(shù)：

激光穩(wěn)頻精度通過(guò)動(dòng)態(tài)熱控制技術(shù)將激光管長(zhǎng)度變化控制在幾納米范圍內(nèi)，達(dá)到1年內(nèi)精度為±0.05 ppm，1小時(shí)內(nèi)精度為±0.02 ppm。

線性測(cè)量精度在整個(gè)環(huán)境范圍內(nèi)，即從0 oC - 40 oC（32 oF - 104 oF）和650毫巴- 1150毫巴的范圍內(nèi)，精度為±0.5 ppm�？梢愿哌_(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，高線性測(cè)量速度可達(dá)4 m/s，即使在高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。

儀器內(nèi)置的USB意味著激光系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)之間無(wú)需單獨(dú)的接口。

激光頭前部一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號(hào)強(qiáng)度，相當(dāng)于將屏幕軟件上的“狀態(tài)顯示”擴(kuò)展到激光頭上。

可以在標(biāo)準(zhǔn)距離(40 m)和長(zhǎng)距離(80 m)模式之間切換。

模擬I/O端口允許模擬信號(hào)輸出和觸發(fā)信號(hào)輸入。

預(yù)熱時(shí)間少于6分鐘。

外接開(kāi)關(guān)電源允許輸入電壓在90V - 264 V之間變化。