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Zeta-388光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。?Zeta-388繼承了Zeta-300的功能，并增加了晶圓盒至晶圓盒機械臂，可實現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用獲得 的ZDot?技術和Multi-Mode （多模式)光學系統(tǒng)，可以對各種不同的樣品進行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級別的臺階高度。

Zeta-388的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學量測技術。ZDot?測量模式可同時收集高分辨率3D掃描和True Color 遠焦距圖像。其他3D測量技術包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta-388也是一款 顯微鏡，可用于樣品檢查或自動缺陷檢測。Zeta-388通過提供 的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能，以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

主要功能

·????????采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光學器件的簡單易用的光學輪廓儀，具有 的應用

·????????可用于樣品復檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡

·????????ZDot：同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩） 遠焦點圖像

·????????ZXI：白光干涉測量技術，適用于z向分辨 的廣域測量

·????????ZIC：干涉對比度，適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)

·????????ZSI：剪切干涉測量技術提供z向高分辨率圖像

·????????ZFT：使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率

·????????AOI：自動光學檢測，并對樣品上的缺陷進行量化

·????????生產(chǎn)能力：通過測序和圖案識別實現(xiàn)全自動測量

·????????晶圓傳送機械臂:?自動加載直徑為50mm至200mm的不透明（如硅）和透明（如藍寶石）樣品

主要應用

·????????臺階高度：納米到毫米級別的3D臺階高度

·????????紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

·????????外形：3D翹曲和形狀

·????????應力：2D薄膜應力

·????????薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度

·????????缺陷檢測：捕獲大于1μm的缺陷

·????????缺陷復檢：采用KLARF文件作為導航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

工業(yè)應用

·????????LED：發(fā)光二極管和PSS（圖案化藍寶石基板）

·????????半導體和化合物半導體

·????????半導體?WLCSP（晶圓級芯片級封裝）

·????????半導體FOWLP（扇出晶圓級封裝）

·????????PCB和柔性PCB

·????????MEMS（微機電系統(tǒng)）

·????????醫(yī)療設備和微流體設備

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