| 供應(yīng)雷尼紹_RGH25F UHV超高真空光柵 |
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價格：10000 元(人民幣) | 產(chǎn)地：英國 |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：北京 | |
| 上架時間：2017-11-17 09:42:09 | 瀏覽量：395 | |
北京潤誠時代科技有限公司
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超高真空光柵 RGH25F UHV
在超高真空條件下提供保真度極高的直接位置反饋 該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體和科學設(shè)備上，其良好的性能在多年實際應(yīng)用中已得到驗證 概述 RGH25F UHV直線光柵讀數(shù)頭與雷尼紹的RGS20-S鋼帶柵尺兼容，在超高真空條件下提供保真度極高的直接位置反饋。RGH25F UHV廣泛應(yīng)用在對性能和可靠性要求極高的半導(dǎo)體和科學設(shè)備上，經(jīng)過多年現(xiàn)場使用已經(jīng)證實了其良好的性能。 UHV系列的用途 提高產(chǎn)量和收益 消除速度/分辨率局限 提高運動控制性能 降低損壞風險 RESOLUTE UHV是真正的絕對式光柵，開啟后可立即采集絕對位置 移動軸時不會有碰撞風險 RESOLUTE UHV任何時候都能保持全面控制，即使斷電后也是如此 增強可靠性 RESOLUTE UHV具有內(nèi)置的位置檢查算法 UHV讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點 由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低，進行殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境 120 °C烘焙溫度 非接觸開放式光學系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零 具備工業(yè)標準的模擬和數(shù)字輸出，分辨率達1 nm 電耗低、發(fā)熱小 排氣密封 自適應(yīng)電路可確保高精度、長期工作的可靠性和低周期誤差（RGH25F UHV和RGH20F UHV為±50 nm，TONiC UHV為±30 nm） 帶有真空兼容涂層線路的RFI屏蔽線纜 TONiC UHV光柵具有光學參考零位 與REF接口兼容 為了進一步提高性能和長期可靠性，由符合RoHS標準的REF接口取代了RGB和RGF系列，它具有動態(tài)信號調(diào)節(jié)功能和5 nm的分辨率。 RGH25F UHV讀數(shù)頭由精選的低除氣速率材料和粘合劑在指定的潔凈條件下制造而成。該產(chǎn)品封裝在一個真空兼容袋中以維持清潔。 真空兼容型鋼帶柵尺 RGS20-S鋼帶柵尺提供具有高重復(fù)性的測量標準。該標準適用于半導(dǎo)體和科學產(chǎn)業(yè)中使用的最常見的工程材料，包括ZeroMet?、Zerodur®、不銹鋼和鋁。當使用推薦的環(huán)氧樹脂將柵尺的末端鎖入基體時，柵尺適應(yīng)基體的熱膨脹系數(shù)，從而表現(xiàn)出如同基體本身被刻劃柵線的特性。 殘留氣體分析 (RGA) 測試結(jié)果 通過獨立殘留氣體分析 (RGA) 測試證明整個系統(tǒng)適用于潔凈真空條件。它還適用于超真空中使用的120攝氏度的烘焙。典型應(yīng)用包括晶片處理、晶片檢測和科研。
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