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冷媒名稱

R-14

冷媒名稱

R-14

沸點（1atm），℃

-128.1

破壞臭氧潛能值（ODP）

0

飽和蒸氣壓（-150.7℃），kPa

13.33

全球變暖潛能值(GWP，100 yr)

5700

臨界溫度，℃

-45.6

燃燒

不可燃

臨界壓力，MPa

3.75

ASHRAE安全級別

A1（無毒不可燃）

主要應(yīng)用

R14主要用于超低溫（深冷）復(fù)疊式制冷設(shè)備中，R14也是低溫配合冷媒的重要組分；四氟化碳（別名：四氟甲烷，全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14）是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

包裝規(guī)格

鋼瓶包裝，8kg/瓶，32kg/瓶。