碳化硅T型板H型板耐磨型材 |
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反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂漿,是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。懸臂漿性能穩(wěn)定,在高溫環(huán)境下不變形,晶圓裝載力大,適用于機(jī)器人自動(dòng)裝載和搬運(yùn)系統(tǒng)。由于懸臂漿截面穩(wěn)定不變形,使得利用現(xiàn)有的爐管制備更大規(guī)格晶圓成為可能。懸臂漿與LPCVD涂層的熱膨脹系數(shù)相近,應(yīng)用于LPCVD,極大地延長(zhǎng)了維護(hù)清洗的周期,并大幅減少污染物。 ![]() ![]() ![]() ![]() |
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