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英思特濕法自動(dòng)/半自動(dòng) 石英爐管 石英舟 清洗機(jī) 全國(guó)上門(mén)服務(wù)
英思特濕法自動(dòng)/半自動(dòng) 石英爐管 石英舟 清洗機(jī) 全國(guó)上門(mén)服務(wù) 價(jià)格:100000  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:本地至全國(guó)
上架時(shí)間:2020-06-16 15:01:40 瀏覽量:668
江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)加工 公司類(lèi)型:私營(yíng)有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):洗滌設(shè)備 主要客戶(hù):半導(dǎo)體
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聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (先生) 手機(jī):18012437416
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詳細(xì)介紹




1.1 設(shè)備概況:


1.1.1 主要功能:設(shè)備主要采用人工上下料、機(jī)械手自動(dòng)實(shí)現(xiàn)槽體之間轉(zhuǎn)移方式,對(duì)2--12英寸石英爐管或其他石英配件進(jìn)行酸液浸泡、水槽噴洗、水槽溢流漂洗、水槽氮?dú)夤呐莸确绞竭M(jìn)行處理,從而達(dá)到一個(gè)優(yōu)異的清洗效果;

1.1.2 被清洗爐管尺寸(Max):2--12英寸的石英爐管,;

1.1.3 設(shè)備形式:無(wú)塵室(class 1000級(jí) fab)內(nèi)放置型;

1.1.4 清洗時(shí)間:0~999MIN(可根據(jù)實(shí)際工藝時(shí)間而定);

1.1.5 操作形式:觸摸屏 自動(dòng)/手動(dòng)操作;

1.2 設(shè)備組成

1.2.1 該設(shè)備主要由殼體部分、槽體部分、管路系統(tǒng)、機(jī)械臂機(jī)構(gòu)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控部分及防漏液盤(pán)組成;

1.3 設(shè)備描述

1.3.1 該設(shè)備是一個(gè)全自動(dòng)(清洗)的處理設(shè)備;

1.3.2 觸摸屏(PROFACE、OMRON)顯示 / 檢測(cè) / 操作;

1.3.3 清洗工作過(guò)程由歐姆龍或三菱PLC 控制;

1.4 設(shè)備特性

1.4.1 需要漂洗能力強(qiáng),性能穩(wěn)定,安全可靠;

1.4.2 需要設(shè)備成本合理,自動(dòng)化程度高,使用成本低;

1.4.3 設(shè)備上層為電器控制系統(tǒng)、機(jī)械臂機(jī)構(gòu)及抽風(fēng)系統(tǒng),中層為工作區(qū),下層和后下部為管道安裝維修區(qū);

1.4.4 設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)必須合理,方便工程師維護(hù)、維修,適宜生產(chǎn)線上大批次操作;

1.4.5 機(jī)臺(tái)要求有回收水裝置,在排水管路上安裝一個(gè)三通裝置,并在程式中選擇排水路徑,將水排入純回水管路或者DHF管路;

1.4.6 配備一個(gè)可移動(dòng)的清洗架,主要用于清洗小件Quartz和boat;

1.4.7 在水槽左右側(cè)壁處需要開(kāi)溢流口(開(kāi)關(guān)狀態(tài)可受控制);

1.4.8 在整臺(tái)設(shè)備的底部裝有防漏液盤(pán);

1.4.9 臺(tái)面網(wǎng)孔設(shè)計(jì);

1.4.10 水平調(diào)整:通過(guò)地腳調(diào)整設(shè)備水平;

1.4.11 設(shè)備移動(dòng):設(shè)備裝有樹(shù)脂腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用;

1.4.12 上料平臺(tái)操作面高度:950mm;

1.4.13 操作面門(mén)設(shè)計(jì):?jiǎn)伍_(kāi)門(mén)透明的PVC活動(dòng)門(mén)(上下推拉+配重);

1.4.14 對(duì)水槽和酸槽清洗操作流程可自由編寫(xiě)程式,并自動(dòng)運(yùn)行;

1.4.15 在水槽兩頭需要安裝水管和氣管各一支;

1.4.16 設(shè)計(jì)內(nèi)外槽:內(nèi)槽為酸槽,外槽為水槽;(內(nèi)外槽,分別有溢流功能)

1.4.17 使用酸液為:49%HF與DIW配比后的HF

1.4.18 各槽材質(zhì):酸槽為PVDF(耐化學(xué)腐蝕),水槽為NPP(耐腐蝕);

1.4.19 防漏槽材質(zhì)為:PP;

1.4.20 機(jī)械手臂需要能夠上下左右移動(dòng)(上升時(shí)需要有略?xún)A斜功能----左右落差3cm, 將酸液倒出);

1.4.21 機(jī)械手臂需要采用伺服電機(jī)控制;

1.4.22 使用的DI WATER和酸液(HF49%)都是由廠務(wù)系統(tǒng)提供;

1.4.23 需要日常照明以及alarm信息的存檔和查看;

1.4.24 自動(dòng)清洗流程

人工上料→選擇好相應(yīng)的清洗時(shí)間→按AUTO(RUN,door open interlock)鍵→系統(tǒng)自動(dòng)移動(dòng)到酸槽進(jìn)行酸洗(右邊比左邊低3CM下行)→等泡酸時(shí)間結(jié)束系統(tǒng)自動(dòng)將Quartz提起(右邊比左邊低3CM上行)→系統(tǒng)自動(dòng)移動(dòng)到水槽進(jìn)行清洗→清洗完成后定位在水槽上方→所有動(dòng)作完成后蜂鳴器提示(1分鐘)→人工下料;

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