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英思特濕法顯影清洗臺(tái)
英思特濕法顯影清洗臺(tái) 價(jià)格:100  元(人民幣) 產(chǎn)地:如皋
最少起訂量:1定制 發(fā)貨地:如皋
上架時(shí)間:2020-07-07 13:35:15 瀏覽量:824
江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司  
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 公司類型:私營有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):清洗機(jī) 主要客戶:半導(dǎo)體
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳經(jīng)理 (先生) 手機(jī):18012437416
電話: 傳真:
郵箱:1819855657@qq.com 地址:

詳細(xì)介紹


1.設(shè)備概況

l? 名稱:顯影清洗臺(tái)

l? 型號(hào):CSE-JR11-N001;

l? 機(jī)臺(tái)尺寸 : 2000mmWx1500mmDx2000mmH

l? 重量:600Kg( 大約);

l? 工作環(huán)境:室內(nèi)放置;

2.機(jī)臺(tái)臺(tái)面

l? 操作臺(tái)面高度為850mm,適合于身高為1.5m到1.8m人員操作;

3.整機(jī)構(gòu)造

l? 骨架:優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐焊接而成;

l? 外殼:德國進(jìn)口10mm瓷白PP板熱焊接而成;

l? 防護(hù)門:正面操作側(cè)采用透明上下推拉門;

l? 管路:管路位于機(jī)臺(tái)下后部,以節(jié)省空間,采用英制接口;

l? 排風(fēng):根據(jù)流體學(xué)原理設(shè)計(jì)位于機(jī)臺(tái)后上部,并配有導(dǎo)流和風(fēng)量調(diào)節(jié)裝置;

l? 工作照明:機(jī)臺(tái)上方配黃光照明(與工作區(qū)隔離);

l? DI/N2 GUN:可伸縮的N2 Gun和DI水槍個(gè)1把,置于工作區(qū)右側(cè);

l? 臺(tái)面板為德國10mm PP板(帶有漏液孔);

l? 人機(jī)界面:Touch Screen彩色界面;

l? 支腳:有滑輪裝置和固定裝置,可調(diào)整高度和鎖定;

l? 三色報(bào)提示等和蜂鳴器

4.控制系統(tǒng)

l? PLC可程式控制器(歐姆龍)+Touch Screen 8"彩色人機(jī)界面操作。

l? 制程參數(shù)皆采用可設(shè)定、修改、記憶制程模式;

l? 操作模式可分為自動(dòng)/手動(dòng)/編輯/維修。

l? 配有獨(dú)立配電箱,電路區(qū)進(jìn)行功能分塊,強(qiáng)電、弱電塊,以便于維護(hù);

l? 具Password功能以避免操作人員誤改參數(shù):

Password-1.啟動(dòng)及可進(jìn)入自動(dòng)模式內(nèi)容。

Password-2可進(jìn)入編輯模式修改制程參數(shù)。

Password-3可進(jìn)入手動(dòng)模式。

5.安全保護(hù)

l? 設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過氟套管進(jìn)行保護(hù),防腐防水;

l? 設(shè)有防漏電斷路保護(hù)裝置;

l? 電控部分正壓空體保護(hù),防水防腐;

l? 設(shè)備有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和提示系統(tǒng);

l? EMO 裝置緊急按鈕開關(guān);

l? 蜂鳴器聲鳴提示工作完成,三色提示燈及蜂鳴聲光故障提示;

l? 機(jī)臺(tái)底部設(shè)有防?盤及?液感知;

l? 液位異常感知/安全液位保護(hù);

l? 加熱保護(hù);

6.工作槽參數(shù)

1

2

3

4

5

顯影-1

顯影-2

顯影-3

顯影-4

正膠顯影

正膠顯影

負(fù)膠顯影

負(fù)膠顯影

N2 dry-1

水洗槽

QDR-1

QDR-2

QDR-3

N2 dry-2

6

7

8

9

10



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