| 4軸圓柱坐標(biāo)潔凈_防水式搬運(yùn)機(jī)械手 |
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深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
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4軸圓柱坐標(biāo)潔凈_防水式搬運(yùn)機(jī)械手 4軸圓柱坐標(biāo)潔凈_防水式搬運(yùn)機(jī)械手特點(diǎn)： 防水4軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手STWCR4000系列（配備300 mm晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)+邊緣夾持機(jī)構(gòu)） 能夠在酸性，堿性霧氣環(huán)境下搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：160 mm、200 mm 手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性 手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈 零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條 Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管 雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間 配備動(dòng)作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用2相步進(jìn)電機(jī) S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式 可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供手指 防水4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)： 使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 手臂 雙臂 到達(dá)距離 315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) 升降軸行程 300mm 可搬運(yùn)質(zhì)量 3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 4軸圓柱坐標(biāo)潔凈_防水式搬運(yùn)機(jī)械手相關(guān)產(chǎn)品： 衡鵬供應(yīng) 真空3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械 5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手 |
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