| 圓柱坐標(biāo)潔凈_3軸機(jī)械手臂 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間：2022-08-11 15:35:13 | 瀏覽量：59 | |
上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司
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圓柱坐標(biāo)潔凈_3軸機(jī)械手臂 圓柱坐標(biāo)潔凈_3軸機(jī)械手臂特點(diǎn)： 超潔凈無塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn) 全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求 比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì) 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160mm, 200mm 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 配備動(dòng)作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī) S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供手指 3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)： 使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 手臂 單臂 到達(dá)距離 400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) 升降軸行程 300mm / 400mm / 500mm 可搬運(yùn)質(zhì)量 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 圓柱坐標(biāo)潔凈_3軸機(jī)械手臂相關(guān)產(chǎn)品： 衡鵬供應(yīng) 4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂/5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂 |
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