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蘇威哈拉涂層,改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,PFA半導(dǎo)體清洗槽設(shè)備涂層加工
蘇威哈拉涂層,改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,PFA半導(dǎo)體清洗槽設(shè)備涂層加工 價(jià)格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:上海
最少起訂量:1 發(fā)貨地:浦東新區(qū)
上架時(shí)間:2024-06-13 14:54:10 瀏覽量:43
上海 雍昌環(huán)保科技有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)加工 公司類(lèi)型:私營(yíng)有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):金屬表面處理及設(shè)備 主要客戶(hù):各類(lèi)金屬制品廠家、軸承制造商、機(jī)械零部件、醫(yī)療器械、軍工航天航空
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聯(lián)系人:吳笛 (小姐) 手機(jī):13061803373
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詳細(xì)介紹

PPB級(jí)超高純半導(dǎo)體防腐專(zhuān)用PFA ,高純PFA閥門(mén),應(yīng)用石英石晶 圓花籃,半導(dǎo)體清洗槽,半導(dǎo)體設(shè)備

蘇威哈拉涂層,改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半導(dǎo)體清洗槽設(shè)備涂層加工

超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級(jí), 否則會(huì)污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能, 抵御各類(lèi)強(qiáng)酸強(qiáng)堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會(huì)滲透 進(jìn)入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進(jìn) 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過(guò)硬劃傷晶圓
產(chǎn)品案例
8/12寸晶圓花籃由于強(qiáng)度 載重原因,部分無(wú)法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時(shí), 會(huì)造成晶圓劃傷,需要表 面進(jìn)行防護(hù),同時(shí)材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉(zhuǎn)運(yùn)臂

 純度:PPB級(jí) 
厚度:100-800?m 
耐酸:氫氟酸+硝酸 
硬度:4H

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