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當(dāng)前位置: 首頁 >> 全部產(chǎn)品 >> >> >> 集成電路CMP化學(xué)機(jī)械研磨拋光液漿料 CMP拋光液
集成電路CMP化學(xué)機(jī)械研磨拋光液漿料 CMP拋光液
集成電路CMP化學(xué)機(jī)械研磨拋光液漿料 CMP拋光液 價(jià)格:60  元(人民幣) 產(chǎn)地:浙江
最少起訂量:1千克 發(fā)貨地:杭州
上架時(shí)間:2024-10-09 10:56:35 瀏覽量:19
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:沈岳林 (先生) 手機(jī):13235718865
電話: 傳真:
郵箱: 地址:

詳細(xì)介紹

1.分散性好。

2.粒徑分布廣泛:10nm。

3.高純度,有效減小對(duì)電子類產(chǎn)品的沾污

4.適合與各種拋光墊、合成材料配合拋光使用。

5.PH、粒徑、穩(wěn)定離子等可以根據(jù)客戶定制。

6.經(jīng)特殊工藝合成的化學(xué)機(jī)械拋光液,納米顆粒呈球形,單分散,大小均勻,粒徑分布窄,可獲得高質(zhì)量的

拋光精度

拋光過程中具有:

1.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達(dá)到高速拋光的目的。

2.高平坦度加工,本品拋光是利用SiO2的膠體粒子,不會(huì)對(duì)加工件造成物理損傷,達(dá)到高平坦化加工.

拋光過程后具有:

1.精度可以達(dá)到納米級(jí)

2.劃傷和挖傷可以達(dá)到0/0。

適用于集成電路當(dāng)中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。具有高的銅去除速率,碟型叫陷可調(diào)

低缺陷等特性?蓱(yīng)用于邏輯芯片以及3D NAND和DRAM芯片等量產(chǎn)使用。清除集成電路中銅拋光后表面

的拋光顆粒和化學(xué)物殘留,以防銅表面腐蝕,降低表面缺陷。

以及用于單晶硅、多晶硅的研磨拋光,存儲(chǔ)器制程和背照式傳感器(BSI)制程等?啥ㄖ七x擇穩(wěn)定的選擇

比,去除速率,對(duì)氧化物/氮化物的選擇比。硅精拋液系列具有低缺陷的優(yōu)點(diǎn)。BSI拋光液系列具有理想的

硅和二氧化硅去除速率和選擇比。涵蓋TSV銅/阻擋層S,TSV晶背銅/介質(zhì)層拋、TSV晶背硅

、TSV晶背硅/銅等。具有高去除速率、選擇比可調(diào)等優(yōu)點(diǎn)。

以及集成電路制造工藝中淺槽隔離的拋光等等


使用方法

使用方法:

1.使用前清理瓶口,以防污染發(fā)生。

2.使用時(shí),根據(jù)不同行業(yè)的需要可用去離子水加以稀釋,調(diào)制不同濃度

3.現(xiàn)場需保持清潔無揚(yáng)塵,防止受到拋光液配制和使用過程遭到污染。

4.循環(huán)使用粘度增大時(shí),應(yīng)予以重新配制新的拋光液,以免損傷工件,降低良率

儲(chǔ)存方法:

1.保持室內(nèi)陰涼

2.避免敞口長期與空氣接觸。

3.貯存時(shí)應(yīng)避免曝曬,貯存溫度為5-35C

4.低于0°C以上儲(chǔ)存,防止結(jié)冰,在零度以下因產(chǎn)生不可再分散結(jié)塊而失效

價(jià)格實(shí)惠:

引進(jìn)國外生產(chǎn)技術(shù),品質(zhì)可以媲美進(jìn)口的產(chǎn)品,有效的避免了進(jìn)口產(chǎn)品其交貨周期長,價(jià)格

昂貴。


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