chemraz lf10 半導(dǎo)體密封圈涂層,rubber氟膠密封圈,耐溫防粘耐等離子體 |
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chemraz lf10 PTFE改性專用半導(dǎo)體密封圈涂層,rubber氟膠密封圈,離子刻蝕,干法清洗,先進制程中高要求密封工況,耐溫防粘耐等離子體,避免以下三種問題 1,橡膠老化,密封性下降 2,高溫融化,黏住基體 3,等離子造成橡膠內(nèi)有機物氣體揮發(fā) 涂層厚度:1-2um 耐 溫: <400℃ 耐等離子:性提升5倍 PPB : LEVEL 黏 連 力: 降低90% 整體壽命:提升10倍 25Khz無脫落:>2000h |
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